低頻玻璃管標(biāo)簽在半導(dǎo)體Wafer生產(chǎn)中的應(yīng)用

Wafer即晶圓，是制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片。晶圓盒，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要起到放置和輸 送Wafer晶圓的作用，能夠簡化運輸和降低被污染的風(fēng)險。而RFID技術(shù)在半導(dǎo)體Wafer晶圓盒的  應(yīng)用，能夠提升半導(dǎo)體制造業(yè)的工作效率，還能減少工作人員對Wafer晶圓的直接接觸，極大地 降低了Wafer晶圓在制作或運輸時被污染的風(fēng)險。

RFID技術(shù)在Wafer晶圓盒上的應(yīng)用主要體現(xiàn)在標(biāo)簽植入在晶圓盒上，RFID半導(dǎo)體讀寫器則根據(jù)不同的應(yīng)用場景安裝  在相應(yīng)的工位節(jié)點上，用于讀取Wafer晶圓盒上的標(biāo)簽獲 取Wafer晶圓的信息，便于有序地安排進行下一步的流程操作。

Wafer晶圓存儲柜

將RFID半導(dǎo)體讀寫器嵌入到存儲柜的承載平臺內(nèi)，當(dāng)晶圓盒放入存儲柜時， RFID半導(dǎo)體讀寫器識別玻璃管標(biāo)簽，獲取晶圓的信息，確認(rèn)晶圓盒是否存 放正確，同時記錄下晶圓的儲存位置，在必要時可立即找到所存儲的晶圓。

半導(dǎo)體電子貨架

將RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在電子貨架識別位的后方。當(dāng)晶圓盒被放置或離開 識別位時， RFID半導(dǎo)體讀寫器通過識別感應(yīng)晶圓盒上的標(biāo)簽來判斷晶圓盒 是否在識別位上，并記錄下晶圓盒放置/離開時的時間。晶圓盒在識別位時， RFID半導(dǎo)體讀寫器將識別感應(yīng)到的晶圓盒信息（如晶圓盒的尺寸、種類等） 展示在電子貨架前端的顯示屏上。

半導(dǎo)體花籃運輸

RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在運輸晶圓盒的AGV小車的承載平臺下方，用于識別并上傳 AGV小車上的晶圓盒信息。管理系統(tǒng)根據(jù)獲取到的晶圓信息給AGV小車下達(dá)相應(yīng)的  指令，如入庫存放或移庫加工等。

半導(dǎo)體硅晶片清洗

當(dāng)晶圓盒被送到清洗工位時，部署在工位上方的RFID半導(dǎo)體讀寫器會通過識別讀取標(biāo)簽的信息來獲取晶圓盒 內(nèi)的晶圓種類、尺寸大小等信息，并記錄下此次晶圓硅片的種類、尺寸大小、清 洗的時間等，預(yù)防出現(xiàn)工序混淆的情況。

半導(dǎo)體天車運輸

當(dāng)天車搬運Wafer晶圓盒時，半導(dǎo)體RFID讀寫器接收來自載碼體標(biāo)簽的相關(guān)信息 ,確保所搬運的Wafer晶圓盒是準(zhǔn)確。在行駛到相應(yīng)的存儲/放置位置時，半導(dǎo)體RFID讀寫器再次識別目的地的標(biāo)簽信息，并將符合的信息的Wafer晶圓盒放到相應(yīng)  的位置，同時將拿取到放置時所有的信息上傳到管理系統(tǒng)處， 若是產(chǎn)品有瑕疵等  不良品的出現(xiàn)，可依據(jù)這些數(shù)據(jù)進行產(chǎn)品生產(chǎn)運輸過程的溯源，幫助快速定位到  問題點上。